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    Array-在線自動光學檢測設備（Inline）是用于TFT-LCD顯示面板Array陣列制程中的工藝設備狀況的實時監控，其高節拍和客制化檢測精度的配置實現了速度和檢測精度的優化結合，能夠滿足產線的產能、產品質量控制等各項需求。

應用范圍：

?  G2.5代到G11代 TFT-LCD面板廠Array Inline AOI

主要功能：

?  陣列區域( Array)的缺陷檢測

?  外圍電路區域(PAD)缺陷檢測

?  宏觀( Digital Macro)檢測

?  基于分區閥值(RBT)的缺陷檢測

?  缺陷手動和自動拍照系統

?  數據分析和趨勢統計工具