Array-離線自動光學檢測設備(Offline)是用于TFT-LCD顯示面板Array陣列制程中的缺陷檢測,其高靈敏度的檢測能力和客制化的應用功能幫助客戶對陣列制程中的各種關鍵工序工藝進行準確快速的缺陷檢測,并為產線產品的質量監控提供各種分析數據。
應用范圍:
? G2.5代到G11代 TFT-LCD面板廠Array Offline AOI
主要功能:
? 陣列區域( Array)的缺陷檢測
? 外圍電路區域(PAD)缺陷檢測
? 宏觀( Digital Macro)檢測
? 基于分區閥值(RBT)的缺陷檢測
? 缺陷手動和自動拍照系統
? 數據分析和趨勢統計工具
? 缺陷分類與判級(ADC&ADJ)