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      2. 中導光電設備股份有限公司
         
         
        產品&技術

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        Array-自動線寬測量設備(CDOL)

        平板顯示非晶硅陣列檢測(a-Si Array)



           
        Array-自動線寬測量設備(CDOL)是用于平板顯示面板工藝中關鍵尺寸的線寬和疊合度檢測。采用業界獨創的光學顯微鏡系統和優化的應用功能配置以滿足高節拍、多尺寸面板檢測和客制化應用等各種需求。


            應用范圍:

        ?  G2.5代到G11代 TFT-LCD面板廠Array Offline CDO

         

        主要功能:

        ?  關鍵尺寸測量(critical dimension)

        ?  疊合度測量(overlap)

        ?  手動和自動拍照系統

        ?  測量結果補償和報警系統

        ?  面板質量判級系統( Defect Judge)

        ?  數據分析和趨勢統計

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